摘要: 超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支.通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技术的发展,希望给出超光滑表面技术的整体轮廓.在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上,通过典型例证指出了超光滑表面在软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用.回顾了超光滑表面制造技术的发展过程,对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价,最后提出了对超光滑表面制造技术的发展趋势的观点.