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新型铁电存贮器和铁电薄膜的脉冲激光沉积

  • 摘要: 结合自己的工作,介绍了目前国际上新型功能材料与器件研究的热点之一──铁电集成和铁电存贮器的研究开发;报道了用脉冲激光沉积(PLD)这种新型成膜技术制备铁电PZT薄膜的一些实验结果.

     

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