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光电子学与光电子产业专题系列介绍 用于X射线光学的多层膜

    摘要
  • 摘要: 用于Ｘ射线，特别是软Ｘ射线（波长范围约为３０－１ｎｍ）光学中的多层膜近十年来引起了人们的广泛重视，取得了许多重要进展．本文对这类多层膜的特点、制备和检测方法以及应用等作简要介绍．

     

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