摘要: 非晶态硅薄膜是当前重要的人工功能材料，它具有亚稳态结构，具有一系列不同于晶态硅的特征．十余年来，用非晶硅薄膜材料已研制成各种类型的非晶态半导体新器件［１］．然而，由于这种材料本身还存在一些弱点，如结构上的亚稳状态及不稳定性，工艺上不易做到很好的重复，有较强的光感生效应及热不稳定性；迁移率及载流子寿命远低于晶态硅等，因而它的进一步开发和应用受到了限制．如何改进非晶硅薄膜材料的性能、质量以及寻求?...