摘要: 自从１９６０年仙童公司首次宣布制成单块集成电路以来，集成电路技术得到了迅速发展．集成度由最初的每片十几个元件发展到现在的每片数百万元件以上，如图１（ａ）所示，１９７５年前集成度平均每年翻一番，１９７５年后逐步下降为每两年翻一番，同时出现了超大规模集成电路（＞１０万元件／片）．随集成度的增加，单个元件的尺寸必然不断减小，最细线宽也由最初几＋μｍ下降到１μｍ，如图１（ｂ）所示，平均每年下降１３％?...