摘要: 近年来，薄膜材料在国民经济和新技术各领域中发挥了重要的作用。它的迅速发展，无疑也和等离子体在薄膜技术中的广泛应用有关，气体放电等离子体中的高能带电粒子和中性粒子，有助于克服气相沉积化学反应的能障，影响其动力学过程，改变薄膜的结构和性能，从而得到用其它工艺难以制备的材料．一、气体放电等离子体气相沉积中采用的等离子体通常是用辉光、电弧、高频或微波、高压电晕等放电形式产生的，其共同特点是其正负电荷?...