摘要: 光作为一种传递信息的媒介在科学技术中起着越来越重要的作用，而光电探测器是实现这一功能的不可缺少的器件．由于遥感、自动控制以及光纤通信等新技术的发展。对高灵敏度光电探测器的需求正在迅速增长．锗光电探测器是发展得较早的一种半导体器件，并且为适应新技术发展的需要还在不断更新，这是因为虽然硅器件工艺相当成熟，但硅的性质决定了它的响应波长截止于～１．１μｍ，而本征锗的截止波长～１．７μｍ，掺杂锗的截止?...