摘要: 目前，金刚石的合成主要是以石墨为原料，采用高温高压法合成金刚石小颗粒．尽管从五十年代起，许多研究工作者以碳氢化合物为原料想在低气压下合成金刚石薄膜．但一直到七十年代初，Ｓ．Ａｉｓｓｅｎｂｅｒａ［１］和Ｃ·Ｗｅｉｓｓｍａ－ｎｅｔｌ［２］等才用离子淀积法生长出了类金刚石薄膜（即膜的大部分为非晶碳结构）．八十年代以来，Ｂ．Ｖ．Ｓｐｉｔｓｙｎ［３］提出的化学输运法，Ｓ．Ｍａｔｓｕｍｏｔｏ［４］提出的?...