摘要: 近十多年来，由于表面分析技术发展的需要，对许多固体材料开展了离子溅射研究［１］．从合金和化合物的溅射研究发现，离子轰击能改变材料的表面成分［２］．研究多组分固体的表面成分在离子束作用下的变化，对阐明入射离子与靶原子间的作用，了解各成分原子在表面上的结合特性以及进行表面成分分析，都是十分必要的［３］．本文将简要说明目前对多组分固体表面离子溅射的了解，并讨论择优溅射对表面分析结果的影响．一、溅射?...