摘要: 寓子束与固体相互作用改变了固体近表面处的组分、结构和性质．．离子束与固体作用的基本物理现象归结为：（１）离子束穿透固体表面，由于和固体原子不断碰撞失去能量，而在固体近表面处形成离子元素的高斯分布；（２）高能离子和固体原子碰撞和级联碰撞使大量固体原子离位，在固体近表面处形成缺陷和亚稳结构；（３）离子束轰击下，固体表面原子被碰撞离开固体（溅射效应）；（４）离子束和固休原子碰撞造成固体原子大量离位?...