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一种多用途的扫描曝光系统

  • 摘要: 一、引言随着现代光学的重要组成部分──光学信息处理的发展及其多方面的应用,光学滤波元件的种类越来越多其结构也更加复杂[1],例如,振幅滤波器,相位滤波器以及Kinoform型光学元件等.它们的共同特点是取样点多,取样面积小,数据要求严格,因此目前还没有制备滤波元件的专门设备.用电子计算机控制的多灰阶自动曝光仪虽然可以完成这方面的工作,由于离散取样、设备复杂、造价高等原因,使这一设备的推广使用?...

     

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