摘要: 场离子显微镜的实验技术是随着超高真空技术的发展而不断完善的．Ｅ．Ｗ．Ｍｕｌｌｅｒ［１］早期使用的实验装置是结构十分简单的密封式全玻璃系统，真空度为１０－６Ｔｏｒｒ，而且是离子直接成像，因此像的亮度和清晰度都较差．目前国际上已有的场离子显微镜装置如本刊［２］曾介绍过的那样，其真空室除观察窗、真空规及冷指外，全由不锈钢加工制成．真空系统由扩散泵、离子泵、升华泵、吸附泵或涡轮分子泵等组成．真空室经?...