摘要: 一、引言Ｘ射线衍射貌相术（简称Ｘ射线貌相术）是利用Ｘ射线在晶体中衍射的动力学及运动学衍衬原理，根据晶体中完整及非完整部分衍射的衬度变化及消光规律，来检查晶体材料及器件表面和内部微观结构缺陷的一种方法．随着半导体、激光等科学技术的发展和近完整晶体材料的大量使用，自五十年代末期以来，Ｘ射线貌相术的实验和理论有了很大发展，逐渐形成为一种有效的检验手段和一门分支学科［１－３］．Ｘ射线貌相术具有下列一?...