摘要: 随着电子工业的飞速发展，对半导体器件提出了高频、大功率、高密度、低噪声、低功耗的要求，半导体工艺中的热扩散法，已很难胜任这些新的任务．因此人们都在寻找更有效的掺杂工艺．半导体离子注入法，就是六十年代发展起来的一种半导体掺杂的新方法．近来，人们把离子束和电子束结合起来称为“两束”技术，在很多国家已广泛地应用于半导体器件的研制和生产．它对于发展电子工业和宇宙探索技术具有十分重要的意义．所谓半导体?...